STがシンガポールでのLiF型研究開発を拡大
STMicroelectronics(STマイクロエレクトロニクス)は、シンガポール科学技術研究庁(A*STAR)のInstitute of Microelectronics(IME)および日本の半導体製造装置メーカーであるULVAC(アルバック)と協力し、シンガポールにおける「Lab-in-Fab(LiF)」型研究開発を拡大し、「Lab-in-Fab 2.0」へと発展させることを発表した。
3者のLiF型研究開発に関する取り組みは2020年より進められているもので、圧電式MEMS技術に特化した8インチ(200mm)ウェハの研究開発用ラインをSTのシンガポール工場(アンモキョ工場)に設置して、運用することで、概念実証から製品開発、そして量産への期間短縮を図ることを目指してきた。
この取り組みを通じて、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)薄膜を形成する物理気相成長(PVD)法を発展させることに成功。鉛含有量を従来のバルク圧電技術と比べて削減できるようになり、その成果を踏まえ、今回の拡張がなされることが決定したという。
環境に優しい鉛フリー圧電材料の開発と高コスト小型センサ/アクチュエータの開発を推進
今回の協業拡大では、A*STAR物質材料工学研究所(A*STAR IMRE)およびシンガポール国立大学(NUS)とのプロジェクトを実施することで、環境に優しい鉛フリー圧電材料の開発推進と、コスト効率に優れた小型のセンサおよびアクチュエータの実現を目指すとする。